Axcelis Technologies запустил новую линейку высокотоковых и высокоэнергетических имплантеров GSD Ovation

Axcelis Technologies, являющийся ведущим поставщиком инновационных высокопроизводительных решений для полупроводниковой промышленности, объявил сегодня о выпуске высокотоковых и высокоэнергетических имплантеров GSD Ovation ™. 

Новые системы GSD Ovation, основанные на успешных имплантерах серии GSD, отраслевом эталоне для самого длинного производимого и поддерживаемого ионного имплантера периодического действия, предназначены для поддержки растущих 200-миллиметровых новых фабрик по строительству и расширению

Линия продуктов включает в себя множество имплантеров, позволяющих клиентам выбирать оптимальный диапазон энергий для их периодического процесса имплантации, в том числе: GSD / E2 Ovation для общих приложений с высоким током и для приложений с высокой энергией GSD / HE Ovation с энергиями до 3 МэВ, и GSD / VHE Ovation с энергиями до 4,9 МэВ.