Телеграм
ВконтактеACM Research, Inc. объявила о создании Ultra ECP GIII — нового инструмента для производства сложных полупроводников, который способен наносить покрытия из карбида кремния (SiC), нитрида галлия (GaN) и арсенида галлия (GaAs).
Данный инструмент также позволяет наносить золото в процессе обработки глубоких отверстий с обратной стороны, с большей однородностью и лучшим покрытием ступеней.
Инструмент оснащен полностью автоматизированной платформой крупносерийного производства, вмещающей как плоские, так и 6-дюймовые пластины с надрезом, и включает в себя запатентованные ACM технологии питания второго анода и лопастей для оптимальной производительности.
«Исторически сложилось так, что процессы производства полупроводниковых соединений имели ограниченный уровень автоматизации и были предметом ограниченных объемов производства. Кроме того, большая часть покрытия была выполнена с помощью инструментов для нанесения покрытия вертикального типа с плохой однородностью. Новый инструмент для нанесения покрытий Ultra ECP GIII убирает данные проблемы, для удовлетворения растущих объемов и повышенныя требований к производительности сложных полупроводников» — заявил Дэвид Ван, главный исполнительный директор и президент ACM.
Инструмент ACM Ultra ECP GIII использует две ключевые технологии для достижения преимуществ в производительности: второй анод ACM и технологию лопастей ACM.
Технология второго анода ACM обеспечивает превосходный контроль однородности за счет эффективной настройки характеристик покрытия на уровне пластины для преодоления проблем, возникающих из-за различий в распределении электрического поля. Его можно использовать для оптимизации рисунков на краях пластин и надрезов на большой матрице для достижения однородности покрытия в пределах 3%.
Технология лопастей ACM обеспечивает более сильное перемешивание для улучшения массопереноса, что приводит к значительно лучшему охвату ступенек в глубоких отверстиях. Улучшенное покрытие ступеней позволяет уменьшить толщину пленки Au, что обеспечивает экономию затрат для клиента.
Компания ACM уже получила два заказа на Ultra ECP GIII от китайских производителей полупроводниковых соединений.
