ACM поставит мировому производителю полупроводников инструмент для фронтальной очистки пластин

Читать Т24 в Новости Дзен ТелеграмТелеграм ВконтактеВконтакте

ACM Research, Inc. объявила о получении заказа от крупного мирового производителя полупроводников, на оценочный инструмент для фронтальной очистки Ultra С SAPS.

«Производитель решил оценить технологию ACM SAPS для расширения возможностей в области НИОКР и производственных процессов. Мы считаем, что успешная оценка данного инструмента может привести к расширению деловых возможностей с данным клиентом и другими крупными клиентами в регионе» — заявил д-р Дэвид Ван, президент и главный исполнительный директор ACM Research.

Ожидается, что данный инструмент будет установлен в китайском центре разработки потенциального клиента в первом квартале 2022 года. Финансовая составляющая, условия сделки и наименование организации клиента не называются.

Запатентованная передовая технология очистки пластин с изменяемым фазовым сдвигом (SAPS) использует чередующиеся фазы мегазвуковых волн. В отличие от стационарных мегазонических преобразователей, использовавшихся в предыдущих поколениях систем очистки мегазональных пластин, технология SAPS перемещает или наклоняет преобразователь во время вращения пластины, что позволяет равномерно передавать мегазональную энергию по всем точкам пластины, даже если пластина деформирована. Технология SAPS обеспечивает более тщательную и всестороннюю очистку пластин с улучшением характеристик конечной детали. Оснащение новых установок дополнительными камерами очистки позволяет производителям схем памяти поддерживать дополнительные этапы обработки и использовать более сложную технологию сушки. При этом длительность производственного цикла остается прежней или сохраняется.